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          技術(shù)文章
          
					
          
					
          




						




						
						
          
							
          內(nèi)應(yīng)力的測(cè)量方法-X射線衍射法
          
						  
              用X射線衍射法可以測(cè)量出薄膜結(jié)構(gòu)的面間距，將測(cè)量值與材料的標(biāo)準(zhǔn)面間距相比可以求出薄膜的應(yīng)變，從而求出薄膜的內(nèi)應(yīng)力。為了使衍射峰不過(guò)于彌散，薄膜的厚度至少要數(shù)十納米以上。圖退火前后金剛石薄膜的X射線衍射圖。由圖可見(jiàn)，薄膜各晶面在退火前的峰位要大于退火后薄膜對(duì)應(yīng)的峰位的角度。根據(jù)測(cè)得的角度可用布喇格公式
          

          
						  
						  
						  
						  
						  
						  
						
          
						 




					
          
				
          
				
          
			
          
		
          
	
          

          




          

	
	
		
		
		
		
		
		


		

		
		

	
	



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